FIB/SEM双束系统
英文名称：Focused Ion Beam

FIB/SEM双束系统

{{stat.tu}}人

使用者

{{stat.tc}}次

总次数

{{stat.st_hour}}小时

总时长

仪器型号Zeiss Auriga
仪器编号20140879
生产厂家德国蔡司
存放地点340栋114Fib实验室
保管单位校级分析测试中心
管理责任人梁宁宁 
可操作方式
预约仪器
1电子束 1.1肖特基场发射灯丝； 1.2分辨率： ≤1.0 nm@15KV ，≤1.9 nm@1kV 1.3 放大倍率：12x ～ 1000kx 1.4加速电压：0.1kV ～ 30 kV 1.5束流强度：最大束流不低于20 nA，连续可调 2 离子束 2.1离子源种类：液态Ga离子源，使用寿命保证不低于1500小时； 2.2分辨率： ≤ 2.5nm@30kV； 2.3 放大倍率：300x ～ 500kx 2.4加速电压：最低加速电压不高于1KV, 最高加速电压不低于30 kV； 2.5束流强度：最小值不高于1pA，最大值不低于50nA； 3 探测器： 3.1样品室内二次电子探测器； 4 辅助功能 4.1气体注入系统 4.2 三维成像系统 4.3 透射电镜取样系统 4.4微纳米加工系统 4.5 3D EDS&EBSD 双束系统中场发射扫描电镜主要用于观察、分析和记录材料的微观形貌，聚焦离子束用来对样品进行在纳微米尺度下的切割、刻蚀，透射样品制备及原子探针针尖加工等工作。 扫描电子显微分析在各种材料研究中有着非常重要的地位，是材料研究中使用频率最高的设备之一，已成为科研工作不可缺少的常规设备。 设备只允许机组人员及具有操作上岗证的人员操作，其他人员预约将被拒绝。
类别 附加类别 收费标准 单位 备注
机时   {{feerate.time.s_xiaowai}} {{feerate.time.s_rtype===6?'元/半天':'元/小时'}} {{feerate.time.s_beizhu}}
样品数   {{feerate.sample.s_xiaowai}} 元/样品 {{feerate.sample.s_beizhu}}
附加费
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设备名称 设备编号 收费标准 单位 备注
附加设备
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优惠名称 优惠比例 备注
优惠类型
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FIB/SEM双束系统
发布时间：{{equip.enoticedate}}
设备只允许机组人员及具有操作上岗证的人员操作，其他人员预约将被拒绝。
机组操作
(Tip: 单击选择单个预约时段，如果要选择多个连续的预约时段，先选择起始时段，再选择结束时段)
前一天
后一天
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不可选
已选中
待审核
已批准
被拒绝 显示晚上时间
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具体收费标准，请咨询仪器管理责任人
类别 附加类别 收费标准 单位 备注
机时   {{feerate.time.s_xiaowai}} {{feerate.time.s_rtype===6?'元/半天':'元/小时'}} {{feerate.time.s_beizhu}}
样品数   {{feerate.sample.s_xiaowai}} 元/样品 {{feerate.sample.s_beizhu}}
附加费
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设备名称 设备编号 收费标准 单位 备注
附加设备
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优惠类型
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我已仔细阅读以上信息并遵守相关仪器使用规定
提交预约前，请务必先联系该仪器管理责任人 梁宁宁 
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